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近日,国家发布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》
作者:
文才武略888
24年9月15日 20:24 评论:
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楼主
文才武略888
发表于 2024-09-15 20:24
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15月
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在电子专用装备目录下,集成电路设备方面出现了氟化氩光刻机和氟化氪光刻机,这两者均属于DUV光刻机。 其中氟化氩光刻机显示为分辨率≤65nm、套刻≤8nm;氟化氪则显示分辨率≤110nm、套刻≤25nm。
舆论为之沸腾,当然了,虽然不是什么高端光刻机,但是能够实现中低端替代是没有问题的。的确是里程碑式的突破,并且这种突破可能早已经实现,只不过等待现在来发布罢了。对芯片板块是利好。
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